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横河高精度、高分辨率和高稳定的压力测量系统

2025-12-15

压力检测,是众多制造业回避不了的关键性能测定,而计量行业做压力表、压力变送器、压力开关和血压计等工具都需要标准器来做鉴定和认证。横河的压力测试产品就是这样的标准器,同时它也是测试高压量程的高端仪器。


横河压力计测产品一览



横河压力产品的核心技术

硅谐振传感器


这是横河专有的自主研发技术,可以实现高精度、高分辨率和高稳定的压力测量系统。

单结晶材料有以下的一般特性

◆ 弹性优秀

◆ 很高的长期稳定性

◆ 无磁滞


由单结晶材质的传感器的优点

◆ 长久稳定的精度

◆ 结构稳定



高灵敏度、高分辨率和出色的长期稳定性

振荡器处于真空中,减少了振动能量的分散。再加上单晶硅优秀的灵活性,使其能够获得高品质因数。


超低的温度依赖

使用两个振动器,通过两个独特的振荡计数之间的差别来推导出压力。使用这种工作结构,可以抵消外部环境(比如环境温度)的影响。此外,振荡器处于真空中,因此它们不受湿度的影响。


硅谐振传感器结构图


振荡器是在硅晶片上使用半导体处理技术产生的,由永久磁铁驱动。当压力作用于硅膜片时,振荡器会变形,导致谐振频率发生变化。


再看下面的详细示意图:


硅谐振技术加持的横河压力测试仪器,面对各种环境挑战,可以保持高稳定性和高灵敏度,帮助用户实现精准测量。


应对温度影响

应对静压影响



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